本申請(qǐng)公開(kāi)了一種生成頂點(diǎn)輔助圖形的方法和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。該方法包括：獲取芯片設(shè)計(jì)版圖及其幾何參數(shù)，所述芯片設(shè)計(jì)版圖包括稀疏圖形和密集圖形，所述幾何參數(shù)包括密集圖形的最小間距、所述稀疏圖形的邊長(zhǎng)以及所述稀疏圖形的待配置頂點(diǎn)輔助圖形的頂點(diǎn)的...

本發(fā)明提供了一種電子束掃描設(shè)備及其電壓調(diào)節(jié)電路。其中，電壓調(diào)節(jié)電路用于向電子束掃描設(shè)備的電源模塊提供設(shè)置電壓，包括：信號(hào)源、驅(qū)動(dòng)控制單元以及電壓調(diào)節(jié)單元；信號(hào)源配置為向驅(qū)動(dòng)控制單元輸出初始控制信號(hào)；驅(qū)動(dòng)控制單元與信號(hào)源連接，配置為接收初...

本技術(shù)提供了一種光闌位置調(diào)整裝置及半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備。光闌位置調(diào)整裝置包括導(dǎo)桿架、導(dǎo)桿、光闌架和頂推組件。導(dǎo)桿架限定有滑孔。導(dǎo)桿可滑動(dòng)地穿過(guò)滑孔。光闌架設(shè)置于導(dǎo)桿的一端，以隨導(dǎo)桿運(yùn)動(dòng)。頂推組件設(shè)置于導(dǎo)桿架上，且與導(dǎo)桿的周壁接觸抵靠，以頂推導(dǎo)...

本發(fā)明提供了一種晶圓檢測(cè)裝置的晶圓高度調(diào)節(jié)方法與相關(guān)產(chǎn)品。其中晶圓檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)、電子槍和與電子槍保持相對(duì)位置不變的電容傳感器，工作臺(tái)配置成支撐和移動(dòng)晶圓，電容傳感器用于測(cè)量獲取電容傳感器與晶圓的上表面之間的距離。高度調(diào)節(jié)方法包括：...

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓升降裝置和具有其的電子束檢測(cè)設(shè)備。本技術(shù)旨在解決現(xiàn)有晶圓升降裝置易出現(xiàn)滑動(dòng)卡頓、升降速度過(guò)慢、傳輸效率低問(wèn)題。為此，通過(guò)使底板頂面向上延伸出的多個(gè)導(dǎo)向柱插入基板上對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向孔。支點(diǎn)件設(shè)置于底板...

本技術(shù)提供了一種電介質(zhì)擊穿測(cè)量電路和半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備。電介質(zhì)擊穿測(cè)量電路包括：可調(diào)電壓源；分壓電阻，其第一端與可調(diào)電壓源電連接，分壓電阻的第二端作為分壓輸出端；被測(cè)電路，其與分壓輸出端電連接；檢測(cè)電路，其輸入端電性耦接至分壓輸出端，并配置...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種圖像處理方法、設(shè)備、介質(zhì)及計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。該圖像處理方法包括：通過(guò)掃描電子顯微鏡采集多個(gè)晶圓樣本的目標(biāo)圖像樣本，并獲取每個(gè)目標(biāo)圖像樣本的第一輪廓圖像標(biāo)簽；基于目標(biāo)圖像樣本，通過(guò)預(yù)設(shè)圖像邊緣模型的生...

本發(fā)明涉及測(cè)試設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種電磁透鏡的磁場(chǎng)測(cè)試系統(tǒng)。該電磁透鏡的磁場(chǎng)測(cè)試系統(tǒng)包括：轉(zhuǎn)臺(tái)，用于承載電磁透鏡；高斯計(jì)探針，設(shè)置在電磁透鏡遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)臺(tái)的一側(cè)，用于采集電磁透鏡的磁場(chǎng)數(shù)據(jù)；探測(cè)裝置，用于獲取高斯計(jì)探針相對(duì)于預(yù)設(shè)的探測(cè)方...

本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的圖像校準(zhǔn)方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品。半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的圖像校準(zhǔn)方法包括：獲取半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備以基準(zhǔn)掃描速率對(duì)晶圓樣本進(jìn)行掃描得到的基準(zhǔn)圖像，基準(zhǔn)掃描速率為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的多個(gè)預(yù)設(shè)掃描速率中的一個(gè)；獲取半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)...

本發(fā)明提供了一種基于光傳輸?shù)膾呙桦娮语@微鏡成像系統(tǒng)與方法。其中基于光傳輸?shù)膾呙桦娮语@微鏡成像系統(tǒng)包括：納米光子閃爍體，配置成接收掃描電子顯微鏡的電子束掃描樣品產(chǎn)生的二次電子并將其轉(zhuǎn)換為預(yù)設(shè)波長(zhǎng)的光子；單光子雪崩二極管陣列，與納米光子閃爍...

本技術(shù)提供了一種探測(cè)器防護(hù)裝置及半導(dǎo)體器件檢測(cè)設(shè)備。其中探測(cè)器防護(hù)裝置包括防護(hù)外罩、伸縮桿、防護(hù)板和接線端子。防護(hù)外罩由非金屬材料制成。伸縮桿從防護(hù)外罩伸出，并配置成沿與探測(cè)器平行的方向進(jìn)行伸縮。防護(hù)板連接于伸縮桿伸出防護(hù)外罩的一端，由...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種線圈組件的控制系統(tǒng)、控制方法及半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，控制系統(tǒng)包括：控制模塊；可調(diào)電壓源，可調(diào)電壓源與線圈組件的第一端以及控制模塊均電連接；反饋檢測(cè)模塊，反饋檢測(cè)模塊的第一端與線圈組件的第二端電連接，反饋檢測(cè)模塊的第二端與基準(zhǔn)電...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種量測(cè)設(shè)備的工作距離校準(zhǔn)方法、介質(zhì)以及程序產(chǎn)品，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。該量測(cè)設(shè)備的工作距離校準(zhǔn)方法包括：本申請(qǐng)引入銷柱與法蘭接觸時(shí)目標(biāo)線路導(dǎo)通的特性，通過(guò)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)承載臺(tái)垂直移動(dòng)，以檢測(cè)目標(biāo)線路的導(dǎo)通性檢測(cè)，確定導(dǎo)通性轉(zhuǎn)換...

本發(fā)明提供了一種掩模圖形的優(yōu)化方法、介質(zhì)、產(chǎn)品及設(shè)備。其中上述方法包括：獲取待修正掩模圖形及其對(duì)應(yīng)的理想光刻圖形；調(diào)用反演光刻工具中的人工智能模型根據(jù)待修正掩模圖形生成光刻仿真結(jié)果；根據(jù)光刻仿真結(jié)果和理想光刻圖形計(jì)算得到代價(jià)值；利用反演...

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種電子束偏轉(zhuǎn)加速裝置及半導(dǎo)體器件檢測(cè)設(shè)備。該電子束偏轉(zhuǎn)加速裝置包括支撐筒、增速筒、一個(gè)或多個(gè)偏轉(zhuǎn)組件。支撐筒由絕緣材料制成，支撐筒限定出貫穿通道。當(dāng)偏轉(zhuǎn)組件為多個(gè)時(shí)，多個(gè)偏轉(zhuǎn)組件沿貫穿通道的軸向...

本發(fā)明涉及晶圓的電荷消除方法、介質(zhì)、產(chǎn)品及設(shè)備。本發(fā)明的晶圓的電荷消除方法包括：將被處理的晶圓輸送至預(yù)設(shè)的電荷消除位置，并停留設(shè)定時(shí)長(zhǎng)，以對(duì)晶圓進(jìn)行表面電荷消除操作；獲取晶圓在進(jìn)行表面電荷消除操作前后各自的表面帶電量，并確定本次表面電荷...

本技術(shù)提供了一種掃描電子顯微鏡，其包括：探測(cè)器，用于與被測(cè)對(duì)象相對(duì)間隔設(shè)置，探測(cè)器的中心開(kāi)設(shè)有供探測(cè)束流通過(guò)的探測(cè)器通孔；物鏡，設(shè)置于探測(cè)器與被測(cè)對(duì)象之間；遮擋件，設(shè)置于探測(cè)器朝向物鏡的一側(cè)，遮擋件與探測(cè)器通孔相對(duì)的位置設(shè)置有供探測(cè)束流...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種密封閥門裝配工裝。密封閥門裝配工裝包括基座，具有定位區(qū)域；壓抵構(gòu)件，沿第一方向與所述基座間隔設(shè)置，所述壓抵構(gòu)件具有壓抵部，所述壓抵部與所述定位區(qū)域相對(duì)應(yīng)；至少一個(gè)導(dǎo)向組件，安裝于所述基座，且所述壓抵構(gòu)件與所述導(dǎo)向組件活動(dòng)...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種傳片裝置，包括傳輸結(jié)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)組件和升降組件，傳輸結(jié)構(gòu)具有用于承載晶圓的承載部；旋轉(zhuǎn)組件包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件和旋轉(zhuǎn)連接件，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)端與傳輸結(jié)構(gòu)分別連接于旋轉(zhuǎn)連接件在高度方向上的兩端；升降組件包括沿水平方向間隔設(shè)置的升...

本申請(qǐng)公開(kāi)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，用于轉(zhuǎn)運(yùn)物料，轉(zhuǎn)運(yùn)裝置包括基座、轉(zhuǎn)軸、第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和彈性密封管，轉(zhuǎn)軸與基座活動(dòng)連接；第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于基座，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與轉(zhuǎn)軸連接，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)啟動(dòng)時(shí)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸沿其軸向運(yùn)動(dòng)；第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于基座，第二驅(qū)...