本申請公開了一種探測器防護機構及半導體檢測設備，半導體檢測設備包括發射裝置、探測器及探測器防護機構，發射裝置用于發射多種束流的電子束；探測器用于接收經待測物品反射后的信號粒子；探測器防護機構設置于探測器與待測物品之間，探測器防護機構包括...

本申請公開了一種SEM圖像的處理方法、裝置、設備、介質及產品，涉及半導體集成電路技術領域。該SEM圖像的處理方法包括：獲取待處理SEM圖像的圖像特征信息，圖像特征信息包括圖像信息熵、圖像灰度共生矩陣的能量、圖像灰度共生矩陣的矩陣熵、圖像...

本申請公開了一種靜電吸盤檢測裝置及檢測方法，靜電吸盤檢測裝置包括固定組件與檢測組件，固定組件用于安裝待測靜電吸盤；檢測組件包括機架與探針結構，探針結構沿自身軸向可動地安裝于機架以使探針結構與待測靜電吸盤部分重合，探針結構被配置為能夠檢測...

本公開涉及一種晶圓固定裝置、方法及檢測設備，晶圓固定裝置包括：吸附模塊、加壓模塊以及開關模塊吸附模塊用于固定晶圓；加壓模塊用于為晶圓施加電壓；開關模塊分別與吸附模塊以及加壓模塊連接，開關模塊用于在任意時刻下將吸附模塊以及加壓模塊中的一者...

本發明涉及一種電子束檢測設備的光闌定位精度的檢測方法及相關產品。檢測方法包括：獲取基準圖像以及光闌的基準對中坐標；基準對中坐標為在光闌與電子束檢測設備的電子光學系統對中的情況下光闌的位置坐標，基準圖像為在光闌與電子光學系統對中的情況下得...

本申請提供了一種電子光學系統校準裝置及半導體檢測設備，該電子光學系統校準裝置包括柔性校準件和測量儀器；所述柔性校準件包括標定件和彈性件，所述標定件設有面向所述電子光學系統的極靴的校準端，所述校準端用于與所述極靴接觸以校準所述電子光學系統...

本申請屬于半導體制造技術領域，尤其是涉及一種用于半導體檢測設備的機臺及半導體檢測設備。該機臺包括機臺本體、線性移動模組、工作臺以及至少一個調節裝置。線性移動模組設置于機臺本體上；工作臺用于承載樣品，工作臺連接于線性移動模組并設置為能夠在...

本申請公開探測裝置和檢測系統，探測裝置包括基座、驅動機構、傳動機構和探頭，驅動機構安裝于基座；傳動機構安裝于基座，傳動機構與驅動機構連接，傳動機構包括連桿組件和套管組件，連桿組件連接驅動機構，套管組件套設在連桿組件至少部分外且與連桿組件...

本申請公開了一種電子束流的調節方法、裝置、設備、介質及產品，應用于集成電路技術領域。該方法先獲取掃描電鏡中聚光鏡的原始激勵電流值；然后基于激勵電流值與電子束流值之間的第一對應關系，確定出原始電子束流值。進而基于原始電子束流值對掃描電鏡進...

本申請公開了一種掩膜排版方法、裝置、設備、介質及產品，涉及半導體集成電路技術領域。該掩膜排版方法包括：顯示目標界面，目標界面包括元素配置區域以及繪圖區域，元素配置區域至少包括候選掩膜和候選掩膜圖形；響應于用戶在元素配置區域中選擇候選掩膜...

本發明涉及晶圓檢測技術領域，特別是涉及晶圓電子束掃描方法、計算機可讀存儲介質、計算機程序產品以及計算機設備。晶圓電子束掃描方法包括以下步驟：控制晶圓支撐裝置帶動晶圓繞晶圓的中心進行旋轉，并控制電子束掃描裝置晶圓表面進行掃描；在晶圓至少旋...

本申請公開了一種用于晶圓激光定位的測量鏡機構及測量鏡機構的調校方法。用于晶圓激光定位的測量鏡機構包括：安裝板具有安裝面；測量鏡設置于安裝面，測量鏡具有反射面，以用于反射激光；豎向調校連接件包括豎向限位部和豎向連接部；沿垂直安裝面方向，豎...

本發明提供了一種晶圓取放裝置，用于在吸盤上取放晶圓。晶圓取放裝置包括：多個承載柱，用于從吸盤上的通孔穿過，并配置成通過升降將晶圓從吸盤的頂面上頂出以及將頂端的晶圓放置在吸盤上；支撐盤，與多個承載柱的底端連接；連接件，與支撐盤連接并向吸盤...

本申請公開了一種激光尺測試裝置，包括測試機構載臺和安裝座，測試機構載臺用于安裝多個反射鏡，反射鏡用于反射激光尺的激光至激光尺的接收部；多個安裝座間隔設于測試機構載臺的外周側，各安裝座均具有與自身對應設置的反射鏡，并均包括具有視窗固定部和...

本申請公開了一種密封閥及掃描電鏡，密封閥包括密封件、施力件和調節件，密封件包括用于封堵的密封面和開設于密封面背面的安裝凹部；施力件用于向密封件提供的壓力，包括朝向開口延伸的懸臂，懸臂能夠伸入安裝凹部配置，懸臂的自由端的表面呈朝向密封件凸...

本發明涉及半導體制造與檢測領域，特別是涉及一種電子束成像設備的消像散方法、產品及設備。該消像散方法包括：搜索電子束成像設備中消像散器的目標像散參數；按照設定步長對預調物鏡電流進行逐步調節，并采集不同物鏡電流對應的多張細聚焦圖像；計算多張...

本發明提供了一種用于光電倍增管的分壓電路，包括：多個分壓單元，依次串聯連接，相鄰的兩個分壓單元的連接點用于連接光電倍增管的一個打拿級，并且至少部分分壓單元設置為可調單元，每個可調單元包括：分壓電阻；以及可調恒流源電路，與分壓電阻并聯連接...

本公開涉及電源帶載能力的測試裝置及方法，測試裝置包括：控制模塊、至少一個負載模擬模塊及至少一個檢測模塊。控制模塊用于輸出導通控制信號；負載模擬模塊的控制端與控制模塊連接，負載模擬模塊與電源網絡的至少一個目標電源對應連接；負載模擬模塊用于...

本發明提供了一種電子顯微圖像的質量評價方法、產品及設備。其中上述方法包括：獲取待評價的電子顯微圖像；提取電子顯微圖像中每個像素對應的梯度值；根據梯度值計算得到電子顯微圖像中感興趣區域的像素占比；通過像素占比選取得到感興趣區域的像素梯度集...

本申請公開了一種晶圓邊緣區域的確定方法、裝置、設備、介質及產品，涉及半導體集成電路技術領域。該晶圓邊緣區域的確定方法包括：獲取目標產品的晶圓設計圖像以及目標產品的至少一張實際晶圓圖像，晶圓設計圖像用于表征目標產品對應的晶圓在制造過程中晶...