本申請公開了一種機臺控制方法、裝置、電子設備、介質及產品，涉及半導體集成電路技術領域。該機臺控制方法包括：獲取標定碳沉積水平，所述標定碳沉積水平用于指示標準晶圓在目標機臺的電子束掃描下產生的碳沉積水平；在所述標定碳沉積水平高于所述目標機...

本申請公開了用于半導體檢測設備的蓋體及半導體檢測設備。用于半導體檢測設備的蓋體用于蓋設在所述半導體檢測設備的殼體開口處，以與所述殼體限定出密封腔室，且用于承載所述半導體檢測設備的電子束發射裝置，以允許所述電子束發射裝置向所述密封腔室發射...

本發明提供了一種晶圓檢測定位方法、設備、介質及產品。晶圓檢測定位方法包括：接收待檢測晶圓需拍攝圖像的目標位置在預設坐標系中的坐標；根據預建的標的點數據集修正目標位置在預設坐標系中的坐標，標的點數據集包括多個標的點數據，標的點數據包括標的...

本申請涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種電子束檢測設備的樣品容納裝置，電子束檢測設備的樣品容納裝置包括：箱體，包括具有開口的樣品腔室；蓋板，和開口匹配，以用于開啟或者關閉樣品腔室；以及至少一個能夠伸縮的啟閉機構，固定設置于箱體的側壁且...

本申請公開了一種檢測裝置及電子探測方法，涉及半導體集成電路技術領域。該檢測裝置包括：物鏡，被配置為將電子源產生的檢測電子束進行匯聚，并使匯聚后的檢測電子束作用于測試樣品上，以使測試樣品在檢測電子束的作用下產生返回信號電子束；樣品臺，被配...

本發明涉及一種光刻膠模型的建模方法及相關產品。建模方法包括獲取光刻膠模型中影響光刻膠的顯影圖形的待優化工藝參數集合；基于各參數所屬的工序將集合劃分成多個子集；以由光刻膠模型得到的仿真結果和實測結果之間的最小偏差指標為優化目標，以各子集為...

本申請公開了一種圖像匹配方法、設備、介質及產品，涉及半導體集成電路技術領域。該圖像匹配方法包括：獲取模板圖像以及待比對圖像；確定所述模板圖像中的各個模板像素點的模板圖像參數對應的模板梯度，并確定所述待比對圖像中的各個待比對像素點的待比對...

本申請公開了一種確定工件臺老化狀態的方法及相關產品，上述方法包括：在工件臺上電的情況下，獲取工件臺第一時間戳下的第一坐標值、第二時間戳下的第二坐標值和第二時間戳下的第一累計移動距離值，其中，工件臺的坐標值基于工件臺發送的信號確定；基于第...

本申請提供了一種工件載臺及半導體檢測設備，該工件載臺包括升降組件、頂升組件、換向組件和驅動機構；所述升降組件包括在所述工件載臺高度方向上相對的升降斜面和承載面；所述頂升組件底部設有頂升斜面，頂部設有支撐柱，所述頂升斜面所在的傾斜面與所述...

本發明提供了一種晶圓缺陷檢測的預處理方法及相關產品，晶圓缺陷檢測的預處理方法包括：獲取待檢測晶圓的金屬層版圖；將金屬層版圖的版圖圖形的外輪廓向外擴充，并獲取擴充于版圖圖形外周的擴充輪廓圖；對擴充輪廓圖進行分割，以得到多個種類的矩形單元；...

本申請公開了一種晶圓掃描系統、晶圓掃描方法及電子設備，涉及晶圓掃描技術領域。該晶圓掃描系統，包括：工件臺控制器，用于控制工件臺從預設掃描區域的起始位置開始移動；定位模塊，用于在工件臺從預設掃描區域的起始位置開始移動的情況下，實時采集工件...

本發明涉及一種版圖的分割方法及相關產品。分割方法包括在原始版圖上疊放虛擬網格，以在原始版圖上劃分出多個網格區域；判斷原始版圖中是否存在跨越至少兩個網格區域的跨區圖形；若存在，則設置包圍跨區圖形的分割多邊形，并刪除處于分割多邊形內的所有網...

本申請公開了一種掩模圖形確定方法、設備、介質及產品，應用于半導體技術領域。本方法中，刻蝕偏差由第一刻蝕圖形和第一光刻圖形確定，而第一刻蝕圖形基于第一子圖像和第二子圖像融合得到。第一子圖像由物理效應模擬單元基于第一光刻圖形生成，第二子圖像...

本申請實施例提供了一種資源管理方法、裝置、設備以及計算機存儲介質，包括：首先，確定任務發布端對應的任務通信端口。然后，通過監控任務發布端是否對任務通信端口發送任務通信信息，確定目標任務對應的任務狀態。當確定任務狀態為退出狀態時，確定目標...

本申請公開了一種掃描控制裝置和半導體檢測設備，上述掃描控制裝置可以包括：第一芯片、控制芯片和存儲芯片，控制芯片與第一芯片以及存儲芯片均連接；第一芯片用于基于掃描參數生成掃描波形參數；存儲芯片用于通過控制芯片接收第一芯片發送的掃描波形參數...

本申請公開了一種芯粒布局生成方法、裝置、設備以及計算機存儲介質，包括：根據多個目標芯粒對應的芯粒信息，確定芯粒系統電路。根據芯粒系統電路和芯粒布局約束規則，確定目標芯粒系統對應的待選芯粒布局。對每個待選芯粒布局進行仿真測試，確定仿真測試...

本申請公開了一種工件臺運行狀態的監測方法、系統及設備，涉及半導體技術領域。該方法包括：在控制工件臺多次執行預配置的運行任務的期間，從采集到的多個電流序列中獲取待分析電流序列，多個電流序列中的每個電流序列為執行一次運行任務的期間，按預設采...

本申請實施例提供了一種電子顯微鏡的正交性校準方法、裝置以及存儲介質，包括：根據電子顯微鏡采集到的晶圓上目標區域對應的圖像，確定對應的目標頻譜圖像。根據目標頻譜圖像中篩選出的多個頻譜特征點，確定電子顯微鏡對應的正交性檢測結果，并根據檢測結...

本申請公開了一種晶圓的圓心位置確定方法及晶圓傳片系統，涉及晶圓校準技術領域。該晶圓的圓心位置確定方法包括：獲取N個晶圓區域圖像，每個晶圓區域圖像中包括一個標記點以及部分晶圓邊緣；基于每個晶圓區域圖像，確定各晶圓區域圖像中的標記點位置以及...

本申請公開了一種晶圓表面形貌圖像成像方法、裝置、設備、介質及產品，應用于集成電路技術領域。本方法中，通過波形發生器以一定頻率采集探測器輸出的第一電壓信號。由于探測器的信號不是瞬時的，存在拖尾現象，則上一個像素點的信號會影響下一個像素點的...