本技術提供了一種晶圓支撐裝置，所述晶圓支撐裝置包括：底座組件、升降座、晶圓裝載臺、光柵尺和讀數頭，升降座可升降地設在底座組件上；設置于升降座的上方，且隨升降座進行升降；光柵尺沿上下方向延伸，光柵尺安裝在底座組件和升降座兩者中的其一上；讀...

本發明提供了一種光刻目標圖形的修正方法、計算機程序產品及計算機設備。其中上述方法包括：獲取掩模圖形在光學鄰近修正過程中的光刻目標圖形，光刻目標圖形為初始光刻目標圖形或者上一輪調整后的光刻目標圖形；生成光刻目標圖形對應的光刻理想輪廓；利用...

本發明提供了一種用于電子束檢測設備的探測器調節方法及相關產品。調節方法包括獲取電子束檢測設備的檢測參數電子束控制參數，檢測參數電子束控制參數用于調節包括電子束檢測設備的電子束的束斑光闌孔參數和/或束流聚光鏡參數；利用預先建立的增益模型確...

本申請公開了一種晶圓送片機構及晶圓缺陷檢測設備，晶圓送片機構包括暫存倉組、第一機械手及第二機械手，暫存倉組包括第一作業單元與第二作業單元；第一機械手用于向暫存倉組輸送待測晶圓或轉移暫存倉組中檢測完畢的晶圓；第二機械手用于在檢測機構與暫存...

本申請公開了一種用于電子束檢測設備的輔助照射裝置和電子束檢測設備。輔助照射裝置包括光源、光學組件和光電探測器。光學組件用于接收光源發射的入射光線并引導入射光線至少兩次聚焦于待檢測元件的表面；光學組件包括第一光學元件組和第二光學元件組；第...

本申請公開了一種半導體檢測設備、控制方法、存儲介質及產品，該半導體檢測設備包括：殼體，殼體內部形成密封腔；傳動組件，傳動組件包括轉軸和螺旋槳，螺旋槳設置于殼體內，螺旋槳固定設置在轉軸上，螺旋槳用于傳送晶圓；驅動組件，驅動組件與轉軸連接，...

本申請公開了一種晶片承載裝置，包括靜電卡盤和插針，靜電卡盤用于承載并吸附晶片；插針安裝于靜電卡盤，插針具有接地端和放電端，插針通過接地端接地，并通過放電端對晶片進行刺破及放電。本申請的晶片承載裝置，能夠實現對于晶片吸附狀態的準確識別，從...

本技術涉及電子束檢測設備技術領域，要解決光闌控制機構的步進電機對電子束檢測設備的成像產生電磁干擾的問題。本技術提供了一種電子束檢測設備，其包括：一個或多個步進電機，用于調整電子束檢測設備的光闌孔的孔位；電機驅動器，通過驅動線纜與步進電機...

本技術提供了一種用于半導體設備的溫度采集裝置及半導體設備。溫度采集裝置包括：偏置電壓源；熱敏電路，與偏置電壓源連接，并具有第一電壓輸出端，熱敏電路配置成使其第一電壓輸出端的電壓信號隨被測溫度變化而變化；信號調理電路，信號調理電路的第一輸...

本發明提供了一種晶圓缺陷量測方法和相關設備。晶圓缺陷量測方法包括：獲取晶圓在多個位置上的晶圓圖像；通過圖形識別模型識別出各晶圓圖像中的圖形，并從各晶圓圖像的圖形中獲取對應的定位圖形；基于各定位圖形對晶圓進行定位，并獲取晶圓的缺陷圖像；通...

本公開涉及一種成像設備的自動對焦方法、裝置、介質及程序產品，方法包括：在目標樣品參考點位于成像組件的焦點位置的情況下，獲取目標樣品參考點的初始參考坐標、移動工作臺的初始位置坐標以及目標樣品參考點的目標參考坐標；根據目標參考坐標，從第一預...

本申請實施例提供了半導體檢測設備的電子束落點位置標定方法以及程序產品，方法包括：首先確定目標圖形對應的未傾斜檢測坐標。基于多個輸出參數組，確定多個傾斜后檢測坐標。基于未傾斜檢測坐標和傾斜后檢測坐標以及多個輸入參數組，確定函數關系。基于函...

本申請實施例提供了一種晶圓圖像校正方法以及程序產品，包括：對目標晶圓上目標圖形區域進行多次圖像采集，得到采集圖像集合。針對每相鄰兩次圖像采集對應的采集圖像，確定初始采集位置偏差序列。確定每個初始采集位置偏差的優化采集位置偏差。根據多個優...

本申請公開了一種電擊穿控制電路及電擊穿控制系統，涉及半導體技術領域。電擊穿控制電路的參考地與高壓電源電連接，電擊穿控制電路的供電端與目標物體連接；電擊穿控制電路中，控制模塊用于向高壓驅動模塊分時段輸出多種頻率的驅動信號；高壓驅動模塊用于...

本技術提供了一種光學顯微鏡。其中光學顯微鏡包括：光源組件，配置成輸出不同波長的單色光束；物鏡，設置在不同波長的單色光束的光路上，配置成將不同波長的單色光束聚焦于豎直光軸方向上的不同位置；光譜探測器，與光源組件相耦合，配置成采集聚焦于待檢...

本申請公開了一種運動平臺定位誤差補償方法、設備、介質及程序產品，涉及半導體制造技術領域。該方法包括：通過控制運動平臺進行多次移動，每次移動采用不同的移動速度。針對每個坐標維度，在每次移動過程中，根據獲取的理想坐標和讀取坐標，確定該次移動...

本發明提供了一種光刻膠三維形貌的壞點檢測方法、介質、產品及設備。其中上述方法包括：在待檢測設計版圖的版圖圖形中篩選得到訓練圖形；利用預先建立的物理仿真模型對訓練圖形進行仿真，得到光刻膠三維形貌；從光刻膠三維形貌中提取光刻膠頂部仿真輪廓；...

本申請公開了一種信號采集電路及信號采集電路的控制方法，涉及信號采集技術領域。該信號采集電路包括：光電探測器件、第一放大模塊及至少一個漏電流采樣模塊，漏電流采樣模塊設置在光電探測器與第一放大模塊所在的電信號傳輸路徑上；任一漏電流采樣模塊用...

本發明提供了一種電子束量測設備的物鏡對準方法與電子束量測設備。其中電子束量測設備的物鏡對準方法包括：在預設的各偏轉線圈的電流情況下，在物鏡的起始電流值的基礎上添加周期振蕩電流以獲取電子束所生成的圖像的實際圖像偏移量；根據預設的各偏轉線圈...

本申請實施例提供了一種缺陷檢測方法、電子設備、存儲介質及程序產品，缺陷檢測方法包括：獲取目標晶圓的一個或多個局部區域的實際形貌數據和目標晶圓的全局版圖，基于晶圓形貌與工藝參數之間的映射關系，針對每個局部區域，確定該局部區域的實際形貌數據...