本申請實施例提供了一種數據傳輸方法、裝置、系統、設備以及存儲介質，包括：通過權限服務器驗證數據請求端提供的目標數據請求，確定權限驗證通過時發送給數據提供端。在數據提供端允許數據請求端獲取目標數據后，數據提供端向權限服務器發送目標數據密鑰...

本申請公開了一種晶圓缺陷檢測圖像的處理方法、設備及計算機存儲介質。方法包括：通過計算晶圓缺陷檢測圖像所有像素點的灰度分布特征，確定目標熵值以及所述目標熵值對應的第一灰度劃分閾值；確定第二灰度劃分閾值；根據第一灰度劃分閾值以及第二灰度劃分...

本申請實施例提供了一種電子顯微鏡的光闌校準方法、裝置以及存儲介質，包括：通過目標電子顯微鏡獲取目標晶圓對應的正焦采集圖像、欠焦采集圖像以及過焦采集圖像。確定正焦采集圖像、欠焦采集圖像以及過焦采集圖像中的共同圖像特征。根據共同圖像特征，確...

本申請公開了一種激光光源連接裝置，包括：光纖法蘭，沿第一方向延伸，光纖法蘭沿第一方向的一端用于與激光器連接；調節筒，具有沿第一方向延伸的調節孔，調節孔與光纖法蘭遠離激光器的一端螺紋連接；光纖法蘭遠離激光器的一端與調節孔之間設有彈性部，彈...

本發明提供了一種半導體圖像的缺陷測量方法與相關產品。其中上述方法包括：獲取具有待測量缺陷的半導體圖像，識別所述半導體圖像上的所述待測量缺陷的缺陷類型；調取與所述缺陷類型對應的處理模板；按照所述處理模板規定的圖像處理步驟，對所述半導體圖像...

本申請公開了一種煙霧溫度保護裝置及系統，涉及半導體技術領域。該裝置包括控制器，控制器與溫度傳感器、煙霧傳感器、報警器和急停裝置分別電連接；溫度傳感器被配置為采集半導體設備的溫度值，并將溫度值傳輸至控制器；煙霧傳感器被配置為采集半導體設備...

本發明提供了一種電子束檢測設備的掃描補償方法、產品及設備。其中上述方法包括：由電子束檢測設備按照晶圓被測表面的預設掃描方向進行持續掃描檢測；在掃描檢測過程中，由承載晶圓的工作臺帶動晶圓在被測表面所在平面內沿預設平移方向進行位移；由位置檢...

本申請公開了一種掃描電子顯微鏡以及晶圓表面形貌圖像成像方法，應用于集成電路技術領域。探測器會在晶圓樣品上各像素點對應的信號采集時段內對相應像素點進行掃描，且會持續性地采集電子信號并輸出電壓信號，可通過波形發生器以一定頻率采集探測器輸出的...

本申請公開了一種光源組件和光學器件組對準方法及對準裝置。光源組件和光學器件組對準方法，包括如下步驟：設置反射組件；調整反射組件；布設分光鏡；調整分光鏡；布設光學器件組；調整光學器件組。本申請公開的光源組件和光學器件組對準方法及對準裝置中...

本發明提供了一種用于電子光學模組的行為數據處理方法和相關設備。該方法包括構建原始數據集對應的樹結構數據；然后，從樹結構數據中確定出目標層；又然后，以目標層為基礎生成原始數據集對應的圖結構數據；最后，基于初始圖結構數據，得到用于輸入圖神經...

本技術涉及電子顯微鏡技術領域，特別涉及一種電子透鏡組件及電子顯微鏡。電子透鏡組件包括冷卻設備及依次設置的聚光鏡組件和物鏡；所述冷卻設備上設有液冷管，所述液冷管包括依次相連的輸入段、冷卻段和輸出段；所述液冷管的輸入段與所述冷卻設備的輸出端...

本申請實施例提供了一種光學臨近修正方法、裝置、設備以及存儲介質，包括：根據目標晶圓的結構布局信息，構建出三維薄膜堆疊模型?；诠饪虆敌畔θS薄膜堆疊模型進行光刻模擬，確定出模擬尺寸數據和模擬光刻膠三維數據。精確仿真出三維晶圓在光刻過...

本申請公開了一種光刻模型構建方法、設備、介質及產品，應用于光刻技術領域。本方法設置了一個對準誤差來表征所述掩模圖形樣本與所述實際光刻圖形對準時存在的偏移量。并在訓練第一光刻模型時，迭代調整對準誤差以及第一光刻模型的參數，直至代價函數值滿...

本申請公開了一種掩模圖形確定方法、設備、介質及產品，應用于半導體技術領域。本申請提供的掩模圖形確定方法，是基于多個第二采樣點確定目標掩模圖形的，而第二采樣點是基于第一光刻圖形與第一刻蝕圖形在第一采樣點對應位置處的第一刻蝕偏差數據，對所述...

本發明提供了一種圖像亮度調節方法與相關產品。其中上述方法包括：從待處理的圖像中確定出漸變區域；計算所述漸變區域內的像素點的導數，記為像素點導數；根據所述像素點導數從所述漸變區域中確定出亮度調節區域；對所述亮度調節區域內的像素點進行灰度值...

本申請公開了一種晶圓傳輸裝置及半導體檢測設備。晶圓傳輸裝置包括機架；驅動元件，安裝于所述機架；旋轉件，與所述驅動元件連接，所述驅動元件能驅動所述旋轉件旋轉；至少一個擺臂，具有承載面，所述擺臂與所述機架轉動連接，且所述擺臂與所述旋轉件通過...

本發明提供了一種掃描電子顯微鏡圖像中圖形的輪廓提取方法與相關產品。其中上述方法包括：獲取待提取輪廓的掃描電子顯微鏡圖像以及與掃描電子顯微鏡圖像對應的設計版圖；對掃描電子顯微鏡圖像中的圖形進行輪廓提取，得到初始圖形輪廓；根據初始圖形輪廓對...

本發明提供了一種掃描電子顯微鏡圖像的圖形分組方法與相關產品。其中上述方法包括：獲取待分組的掃描電子顯微鏡圖像以及與掃描電子顯微鏡圖像對應的設計版圖；對掃描電子顯微鏡圖像中的圖形進行輪廓提取，得到包括多個圖形輪廓的圖像整體輪廓；建立圖形輪...

本發明提供了一種電子束的像散程度評判方法、產品及設備。其中上述方法包括：在目標晶圓的待成像區域獲取不同聚焦狀態下的多個待處理圖像；逐一對每個待處理圖像進行處理得到待成像區域在不同聚焦狀態下對應的邊緣輪廓圖像；分別在每個邊緣輪廓圖像中選取...

本發明提供了一種前道檢測設備及其控制方法。該控制方法包括對傳送室抽真空達到第一設定時間后，關閉所有氣閥，并獲得傳送室的真空狀態；然后，判斷傳送室的真空狀態是否滿足預設條件；如滿足，則打開至少一個氣閥，并繼續對傳送室抽真空，直至傳送室的真...