本發(fā)明涉及一種流體導(dǎo)軌超精度滑臺(tái)體組合結(jié)構(gòu)。它解決了現(xiàn)有設(shè)置零點(diǎn)位置尺寸誤差較大、無(wú)法保證導(dǎo)軌直線度等技術(shù)問(wèn)題。包括下滑臺(tái)座,下滑臺(tái)座上端水平滑動(dòng)設(shè)有上滑臺(tái)座,上滑臺(tái)座和下滑臺(tái)座之間形成靜壓導(dǎo)軌滑臺(tái)組件,上滑臺(tái)座和下滑臺(tái)座之間設(shè)有能驅(qū)動(dòng)...