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          張沁言專利技術

          張沁言共有1項專利

          • 本申請涉及存內(nèi)計算存儲器技術領域,尤其涉及一種具備頂部全局柵極線的三維鐵電存儲器及其制備方法。所述具備頂部全局柵極線的三維鐵電存儲器包括:中心柵極,沿相對于所述底部襯底的垂直方向延伸設置;半導體疊層結構,所述半導體疊層結構包括依次環(huán)所述...
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