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          • 提供一種在正面具有溝槽部的金剛石半導(dǎo)體裝置,其具備金剛石層、設(shè)置在所述金剛石層上的金剛石外延層、設(shè)置在所述外延層的上方的正面?zhèn)冉^緣膜、以及設(shè)置在所述正面?zhèn)冉^緣膜上的正面?zhèn)入姌O,所述正面?zhèn)冉^緣膜具有與所述溝槽部的溝槽側(cè)壁相接并填充到所述溝...
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