本發(fā)明涉及一種用于將至少一種材料的一個或更多個原子層沉積到基底上的反應(yīng)器和方法。該反應(yīng)器包括容納噴淋頭、基臺和至少一個基底支架的反應(yīng)室。該噴淋頭包括至少一個氣體出口，該至少一個氣體出口被配置為提供至少一種材料的氣流或至少一種材料的至少一...