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          沐科恒益江蘇電子制造有限責任公司專利技術

          沐科恒益江蘇電子制造有限責任公司共有1項專利

          • 本發明屬于晶圓制造技術領域,涉及一種PVA滾刷的清洗方法,包括依次進行的預清洗、多模塊協同清洗和后處理;其中,所述多模塊協同清洗包括依次進行的超聲清洗、化學浸泡和噴淋沖洗,且所述噴淋沖洗的方式為水流從滾刷內桿向外沖洗。本發明提供的清洗方...
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