本發(fā)明設(shè)計芯片制造領(lǐng)域,具體地設(shè)計用于量子計算機中的超導(dǎo)集成電路的制造。凸起對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)和凹入對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)設(shè)置在兩個基板的表面上,使得所述凸起對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)和凹入對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)在所述凹入對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)內(nèi)延伸到由對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的幾何形狀確定的最大深度。所述對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)充當(dāng)硬...