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          恩斯麥爾蘇州科技有限公司專利技術

          恩斯麥爾蘇州科技有限公司共有1項專利

          • 本技術涉及晶圓下片技術領域,尤其涉及一種能夠自動下片的晶圓下片裝置。本技術提供一種能夠自動將晶圓取下,提高晶圓下片效率和晶圓質量的能夠自動下片的晶圓下片裝置。一種能夠自動下片的晶圓下片裝置,包括有底座、旋轉氣缸、加熱臺和第一支撐架等,底...
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